硅片超聲波清洗機(jī)是用于清洗硅片的設(shè)備，其工作原理基于超聲波的物理效應(yīng)。超聲波的傳導(dǎo)和氣泡的破裂能夠有效地去除硅片表面的雜質(zhì)和污染物，提高硅片的質(zhì)量和純凈度。同時(shí)，具有清洗速度快、清洗效果好、操作簡單等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和電子產(chǎn)業(yè)中。
 

　　超聲波發(fā)生器：產(chǎn)生高頻電信號，通常在20kHz至100kHz之間。該電信號會傳輸?shù)匠暡òl(fā)射器。
 

　　超聲波發(fā)射器：超聲波發(fā)射器將來自電信號轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動。它由一個或多個壓電陶瓷晶體組成，這些晶體在電場的作用下會發(fā)生振動，從而產(chǎn)生超聲波。
 

　　清洗槽：硅片放置在清洗槽中，清洗槽內(nèi)填充了清洗劑，通常是溶解于水中的化學(xué)物質(zhì)。清洗槽的底部有裝配了超聲波發(fā)射器的振動器。
 

　　超聲波傳導(dǎo)：當(dāng)超聲波發(fā)射器開始振動時(shí)，它會通過清洗液傳導(dǎo)超聲波。超聲波的傳導(dǎo)過程中，清洗液會形成微小氣泡，這些氣泡在超聲波的作用下會發(fā)生膨脹和破裂，產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊波。
 

　　清洗作用：超聲波的傳導(dǎo)和氣泡的破裂產(chǎn)生的沖擊波使得清洗液形成高能區(qū)域，在這個區(qū)域內(nèi)，液體粒子和硅片表面的雜質(zhì)會受到?jīng)_擊力的作用而脫離，從而實(shí)現(xiàn)清洗作用。同時(shí)，由于超聲波振動引起的微流動也有助于將污染物從硅片表面清洗掉。
 

　　沖洗和烘干：清洗完畢后，通常需要對硅片進(jìn)行沖洗和烘干。這一步驟的目的是將殘留的清洗劑沖洗掉，并通過烘干操作去除水分。
 

　　硅片超聲波清洗機(jī)常見的維護(hù)保養(yǎng)方法：
 

　　1.定期清洗清洗槽和超聲波發(fā)生器：定期清洗清洗槽和超聲波發(fā)生器，除去污垢和沉積物。可以使用專用的清洗劑或溶液進(jìn)行清洗，注意遵守清洗劑的使用說明。
 

　　2.檢查和更換超聲波振子：定期檢查超聲波振子的磨損情況，如有磨損或老化現(xiàn)象應(yīng)及時(shí)更換。超聲波振子是超聲波清洗機(jī)的關(guān)鍵部件，其工作狀態(tài)直接影響清洗效果。
 

　　3.清洗過濾器：通常配備有過濾器，用于過濾清洗液中的雜質(zhì)和顆粒物。定期清洗過濾器，保持其通暢性能，防止污垢堵塞。
 

　　4.檢查和調(diào)節(jié)超聲波功率：定期檢查超聲波功率的調(diào)節(jié)裝置，確保其正常工作。根據(jù)需要，調(diào)節(jié)超聲波功率的大小，以適應(yīng)不同清洗任務(wù)的要求。
 

　　5.檢查密封件和管道連接：定期檢查密封件和管道連接，確保其密封性良好，防止泄漏。
 

　　6.定期維護(hù)液位和溫度控制系統(tǒng)：通常配備有液位和溫度控制系統(tǒng)，用于控制清洗液的液位和溫度。定期檢查和維護(hù)液位和溫度控制系統(tǒng)，確保其正常運(yùn)行。
 

　　7.注意操作細(xì)節(jié)：在使用時(shí)，應(yīng)注意遵守操作規(guī)程和安全操作要求。避免過載運(yùn)行，避免使用不適合的清洗劑和溶劑，以免對設(shè)備造成損壞。